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Halbleiter-Industrie | Mikroelektronik

Als Systemanbieter mit über 75 Jahren Erfahrung in der Halbleiter-Industrie ist INTEGA mit den komplexen Anforderungen der Branche bestens vertraut und hat sich für viele internationale Hersteller inzwischen unentbehrlich gemacht. Die Planung, Montage und Installation betriebsbereiter Reinstmedien-Versorgungssysteme zählen ebenso zum Angebotsportfolio wie flexibel einsetzbare Gasmischanlagen, passgenaue  OEM-Komponenten oder die finalen Maschinenanschlüsse (Hook-Up) vor Ort.

Tipp:

Schauen Sie sich gerne schon einmal unsere Lösungen und Leistungen an. So erhalten Sie einen guten ersten Eindruck von unserer Arbeitsweise und umfangreichen Leistungsfähigkeit.

Installationen

OEM

  • Gas- und Kühlleitungen
  • Rohr-/Balg-/Ventilbaugruppen mit Reinstgas-konformen Verbindungstechniken
  • Verbindungsbauteile/Verteilerblöcke
  • Kabelsätze
  • (teil-)automatisierte Gasmischsysteme inkl. Überwachung und Regelung der Gasströme
  • modulare „Plug and Play“-Lösungen
  • EUV -Komponenten für den Vakuumbereich

Equipment

  • Gaskabinette / VMBs / VMPs
  • Chemiekabinette / VMBs / VMPs
  • Analytikkabinette
  • Gasmisch- und -dosiersysteme
  • Gasdetektion
  • Containerlösungen
  • kundenspezifische Steuerungssysteme für Gas- und Chemikalien-Versorgungssysteme
  • Abgas-Reinigungssysteme
  • Steuerungs- und Regelsysteme
  • Prozess-Visualisierungen

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